氣體動(dòng)態(tài)稀釋儀

一、氣體動(dòng)態(tài)稀釋儀特點(diǎn)

高精度、高分辨率控制

低功率（功率大小取決于配氣路數(shù)）

各路 MFC 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類

各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體（20 種基礎(chǔ)氣體種類按比例混合）

數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

寬流量量程范圍

無(wú)需預(yù)熱

無(wú)安裝方向限制

具有高重復(fù)性和高可靠性

采用電磁比例閥，使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快

自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃

內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

小封裝尺寸

二、量程及精度簡(jiǎn)介

稀釋比：最高 1000:1（更高稀釋比建議咨詢廠家）

各路 MFC 滿量程精度：±0.2%

各路 MFC 讀取精度：±0.8%

各路 MFC 可重復(fù)性：±0.2%FS

各路 MFC 響應(yīng)時(shí)間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時(shí)間），數(shù)字式設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介

動(dòng)態(tài)稀釋儀內(nèi)部配置了高精度質(zhì) 量流量控制器（MFC），各路 MFC 標(biāo)配高精度傳

感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測(cè)量及控制所需的所有基本功能。質(zhì)量流量控制器采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU 通信模式。

三、氣體動(dòng)態(tài)稀釋儀應(yīng)用領(lǐng)域

氣相和液相色譜儀

半導(dǎo)體工藝

環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備

微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）

氣體發(fā)生器

配氣混氣系

四、功能介紹

流量控制 ---可實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。

獨(dú)立使用  ---無(wú)需連接任何設(shè)備，可通過(guò)屏幕完成大部分功能操作。

多種量程選擇  ---根據(jù)稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可選。

內(nèi)置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內(nèi)置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。

電氣接口  ---標(biāo)準(zhǔn)配置 1 個(gè) AC220V 三項(xiàng)插座

控制方式  ---屏幕使用 RS-485 通信與內(nèi)部 MFC 進(jìn)行通信。

標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU  ---RS-485 通信采用標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU 通信協(xié)議。